二手CANON MPA-600FA光刻机

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在半导体光刻设备领域,龙玺精密凭借专业的技术和经验,对二手设备进行检测和维护,二手CANONMPA-600FA光刻机经其调试焕新,成为不少企业与科研机构的选择!它以先进技术和稳定性能,为光刻制程提供可靠保障。



核心光刻参数:该光刻机采用365nm的i-line光源,凭借高精度投影镜头,可实现0.35μm级分辨率,满足先进芯片制造对精细图案的需求;套刻精度达±70nm(3σ),多层光刻图案叠加精准,有效提升芯片良品率。



晶圆处理能力:支持4英寸、5英寸、6英寸和12英寸等多尺寸晶圆,适配不同制程与产品需求;全自动晶圆传输系统配合高效的曝光流程,每小时可处理晶圆超80片,生产效率出色。



工艺灵活性:具备硬接触、软接触、接近式等多种曝光模式,能根据光刻胶特性与工艺要求灵活切换;内置智能工艺优化算法,可自动匹配最优曝光剂量、对焦参数等,减少调试时间。



操作与设计:15英寸高清触控屏搭配图形化交互界面,操作便捷,支持多组工艺配方存储调用;模块化设计使关键部件(如光源、光学镜头模块)便于拆卸维护,内置诊断系统实时监测运行状态。



二手CANONMPA-600FA光刻机在龙玺精密的加持下,以专业性能持续服务于半导体光刻领域✨!半导体设备#CANON光刻机

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